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在電場的作用下，當電場強度足夠大時，介質內部的電子帶著從電場獲得的能量，急劇地碰撞它附近的原子核離子，使之游離。因游離而產生的自由電子在電場的作用下又繼續(xù)對其他原子或離子發(fā)生碰撞，這個過程不斷地發(fā)展下去，使自由電子越來越多，在電場作用下定向流動的自由電子多了，如此，不斷循環(huán)下去，終于在絕緣結構中形成了導電通道，絕緣性能就完全被破壞。這就是電擊穿的機理。

電擊穿的特點是：外施電壓比較高：強電場作用的時間相當短便發(fā)生擊穿，通常不到1s；擊穿位置往往從場強最高的地方開始（如電極的尖端或邊緣處）；電擊穿與電場的形狀有關，而幾乎與溫度無關。