SF6氣體有雜質(zhì)和水分，要用檢測的方法將SF6氣體里的雜質(zhì)和水分的含量測出來。SF6氣體中的雜質(zhì)和水分的含量是很微小的，但其危害性則很大，它足以改變SF6氣體的性能。
SF6氣體中的雜質(zhì)和水分主要來自制造廠，在安裝和運輸過程中也會滲入到設備中去。但對SF6氣體的雜質(zhì)和水分的檢驗主要在制造廠里進行。
SF6氣體的雜質(zhì)有氟化硫的化合物，如SF2、S2F2、SF4、S2F10等；有氫、氧、碳等元素和氟與硫的化合物，如SOF2、SO2F2、SOF4、S2F10O、HF、SO2、COS、CS2；以及全氟烴類，如CF4、C2F6等。
這些雜質(zhì)和水分必須要按照IEC標準或國家規(guī)定的檢測方法進行檢測，在氣體制造廠出廠前必須做檢測報告，合格后才能出廠。但在氣體填充和運輸過程中也可能混入一些雜質(zhì)；在條件允許的地方也可再次進行檢測，按照GBJ45-90《電氣裝置安裝工程高壓電器施工及驗收規(guī)范》第五章中的第5.3.2條的規(guī)定進行。
國家規(guī)定以下六種雜質(zhì)在新SF6氣體中必須進行檢測，即空氣（氧、氮）、四氟化碳、水分、游離酸（用HF表示）、可水解氟化物（用HF表示）、礦物油。其含量按照國標《六氟化硫電氣設備中氣體管理和檢測導則》GB8905-88的表1執(zhí)行。對以上六項雜質(zhì)的檢測方法簡述如下。
二、SF6氣體雜質(zhì)和水分的檢測方法
1、水分的測定方法
（1）重量法：定量的樣品，通過吸濕機（P2O5或MgClO4）后，精確稱量其體重變化。這一方法是檢測氣體中水分的基本方法。
（2）電解法：樣品通過電解池，水被P2O5膜層吸收同時被電解，再將此電解后的電流放大，從而測出水分的含量。
（3）露點法：當測試裝置系統(tǒng)溫度略低于樣品氣體中水蒸汽的飽和溫度時，測試系統(tǒng)發(fā)出信號，經(jīng)過放大輸出，再根據(jù)露點值來確定水分的含量。含水測量儀就是利用這一原理做的。
2、空氣（氧、氮）和四氟化碳（CF4）的測定方法
用氣相色譜法測量，可用分子篩法或Parapak—Q法做固定相，用熱導檢定器測定。熱導校正系數(shù)值：CF4為0.7，空氣為0.4.
3、礦物油的測定方法
用紅外分光光度計進行測定。
4、游離酸的測定方法
采用標準堿定量吸收SF6氣體的酸和酸的生成物，然后用標準酸來反滴定過量堿的酸堿中和滴定法。
5、可水解氟化物的測定方法
用比色分光光度分析法和氟離子選擇電極等兩種方法。
此外，還有SF6氣體中痕量雜質(zhì)的檢驗，可參考這方面專門書籍。
SF6氣體中水分測試裝置：HTCMS10型SF6智能微量水分測量儀（又名露點儀或微水儀） | 
